型号 501um?/?501uc 502um?/?502uc 量测行程 400×500×160mm 400×500×250mm 外形尺寸 1100×1200×1550mm 1100×1200×1650mm 重量 860kg 900kg xy?移动速度 700 mm/s xy?加速度 1400 mm/s2 z?移动速度 150 mm/s z?加速度 500 mm/s2 光学尺分辨率 0.1μm xy?精度 2.5+l/200 2.8+l/200 z??精度 2.5+l/100 3.0+l/100 镜头倍率(光学,数字) 36×(12× , 3×) 放大倍率 15×-540×?to?30×-1080× 表面光,轮廓光,同轴光光源 红光led (黑白系统)?白光led (彩色系统) 承载重量 100kg 电源系统 93-264?vac,47-63?hz 工作温度 20℃±2° 存放温度 -25℃?～?60℃ 工作湿度 30%-80%