型号 excel661um excel661uc excel662um excel662uc excel664um excel664uc 测量行程 650x650x160mm 650x650x250mm 650x650x400mm 外形尺寸 1311x1604x1608mm 1311x1604x1788mm 1311x1604x2088mm 重量 1530kg 1550kg 1550kg 承载重量 100kg 100kg 100kg 平台材质 钢构 基座材质 花岗岩 传动方式 unique x&y monorail, monorail linear z 电控系统 伺服系统: cnc, 鼠标, 摇杆 电源系统 93-264 vac, 47-63 hz,大10 amp xy 精度 uxy=2.5+l/300μm uxy=2.8+l/300μm uxy=3.2+l/300μm z 精度 ux=2.5+l/150μm ux=3.0+l/150μm ux=3.5+l/150μm xy 重现性 2.5μm 2.8μm 3.2μm z 重现性 2.5μm 3.0μm 3.5μm xy 加速度 1000mm/s2 z 加速度 500mm/s2 xy 移动速度 500mm/s z 移动速度 150mm/s 分辨率 0.1μm 照明系统 表面光, 轮廓光,同轴光 光学系统/ 放大倍率 12x 光学/3x 数字 zoom / 15x~1200x 放大倍率